日本三菱离子交换树脂——半导体行业

文章出处：人气：发表时间：2022-08-23

日本三菱离子交换树脂—半导体工业

在半导体工业，洗净用之超纯水对制品品质及产率有很大影响，以下图表示各类相关制造工程之超纯水水质要求例。

1. 超纯水制造上之离子交换树脂

超纯水设备，除了凝集沉殿等前处理与离子交换树脂外，还包含RO膜、超过滤、UV杀菌设备等单元，依原水水质与处理水要求来组合。超纯水设备分为一次纯水系与二次纯水系，后者又称为sub-system.

2. 一次纯水系

有使用软化树脂RO或2B3T+MBP者，因离子交换树脂对有机物与膠体之吸附力不高，若只是要得高阻值纯水，则僅使用离子交换树脂即可，否则需再经过RO装置较适宜，但RO之浓缩排水较多。

离子交换树脂能去除水中电解质，比抵抗可以近似理论纯水，但其高分子材质，自身会溶出微量不纯物，因此需要高洗净度之精制树脂。又为了让树脂能於年度维修短短数日内快速水洗上线，可采用之阴树脂，要注意的是，RO装置前加入之杀菌剂NaClo在进入树脂前需要用NaHSO3除去，而且此系中使用重复再生型MB，需注意再生后之离子泄漏值。

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混床阳树脂：DIAION SK1BL

混床阴树脂：DIAION UBA100MB

抛光树脂：KAM115U

核子级抛光树脂：USMT100

核子级抛光树脂：SMT200L

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